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超細微加工
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超高精度電鑄造微細管
照片產品：Φ0.015mm
組成材質：不銹鋼、鈹銅等
薄膜材質：鎳、銅、金等
外徑尺寸：0.03mm
一般公差：±0.005mm
精密公差：0.0005mm（更高精密也對應）
總長：2000mm
隨著集成電路規模的日益增大，元器件越來越小，各種微電子電路的尺寸間距、引線都已突破微米向納米前進，這就產生了超微加工技術。
這種技術的關鍵是形成微加工區和引線光刻技術。為了提高加工精細水平，由傳統的接觸掩膜光刻發展到投影光刻，并采用波長短的紫外光同步輻射或電子束作為光（輻射）源，用它們進行曝光可以獲得更高的分辨能力。與超精細光刻技術配合的超微加工技術還有自對準技術、離子注入摻雜、激光淀積布線。今后的微細加工方向，將是對這些裝置進行改良，開發分辨能力更高的抗蝕劑，以及采用能看到原子的掃描隧道顯微鏡STM和場離子顯微鏡FIM等。
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2022-09-26
